早期,研究离子注入技术是用()来进行的。
第1题:
热退火用于消除离子注入造成的损伤,温度要低于杂质热扩散的温度,然而,杂质纵向分布仍会出现高斯展宽与拖尾现象,解释其原因。
第2题:
离子注入后为什么要进行退火?
第3题:
离子源产生的离子在()的加速电场作用下得到加速。
第4题:
离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的()和引出部分组成。
第5题:
离子注入
第6题:
大气中的离子主要分为()。
第7题:
下列不属于离子束加工技术的是()。
第8题:
空气中存在轻离子和重离子,它们对人体是有益的
空气中重离子数与轻离子数之比小于50时,空气为清洁
轻离子对人体有益,有镇静、催眠、镇痛等作用
重离子对人体有益,可以镇痛、催眠、镇咳
清晨时的空气对人体有益,尤其是森林瀑布等地
第9题:
X射线
重离子
轻离子
质子
中子射线
第10题:
小离子和轻离子
大离子和重离子
轻离子和重离子
Langerin离子和大离子
第11题:
离子注入
热扩散
第12题:
离子束刻蚀
溅射镀膜
离子镀
离子注入
第13题:
离子注入层的深度主要取决于离子注入的()。
第14题:
分析器是一种()分选器。
第15题:
离子注入装置的主要部件有()、分析器、加速聚焦系统等。
第16题:
1989年12月,我国自行研制的()建成出束,标志着我国回旋加速器技术进入国际先进水平。它先后成功合成和研究了10余种新核素,并由此产生了重离子束治癌等一批先进技术。
第17题:
不属于高LET射线的重粒子是()
第18题:
质谱分析器中,()的离子分离是用非磁方法达到的。
第19题:
下列不属于高LET射线的是()
第20题:
X射线
重离子
轻离子
质子
中子射线
第21题:
第22题:
第23题:
对
错