更多“早期,研究离子注入技术是用()来进行的。A、重离子加速器B、热扩散炉C、质子分析仪D、轻离子分析器”相关问题
  • 第1题:

    热退火用于消除离子注入造成的损伤,温度要低于杂质热扩散的温度,然而,杂质纵向分布仍会出现高斯展宽与拖尾现象,解释其原因。


    正确答案: 离子注入后会对晶格造成简单晶格损伤和非晶层形成;损伤晶体空位密度大于非损伤晶体,且存在大量间隙原子和其他缺陷,使扩散系数增大,扩散效应增强;故,虽然热退火温度低于热扩散温度,但杂质的扩散也是非常明显的,出现高斯展宽与拖尾现象。

  • 第2题:

    离子注入后为什么要进行退火?


    正确答案:推进,激活杂质,修复损伤。

  • 第3题:

    离子源产生的离子在()的加速电场作用下得到加速。

    • A、分析器
    • B、扫描器
    • C、加速器
    • D、偏转器

    正确答案:C

  • 第4题:

    离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的()和引出部分组成。

    • A、电极
    • B、分析器
    • C、加速器
    • D、腔体

    正确答案:D

  • 第5题:

    离子注入


    正确答案:离子注入:将预先选择的元素原子电离,经电场加速,获得高能量后注入工件的表面改性工艺。

  • 第6题:

    大气中的离子主要分为()。

    • A、小离子和轻离子
    • B、大离子和重离子
    • C、轻离子和重离子
    • D、Langerin离子和大离子

    正确答案:C

  • 第7题:

    下列不属于离子束加工技术的是()。

    • A、离子束刻蚀
    • B、离子束焊接
    • C、离子注入技术
    • D、离子束镀膜技术

    正确答案:B

  • 第8题:

    多选题
    对空气离子叙述正确的是()
    A

    空气中存在轻离子和重离子,它们对人体是有益的

    B

    空气中重离子数与轻离子数之比小于50时,空气为清洁

    C

    轻离子对人体有益,有镇静、催眠、镇痛等作用

    D

    重离子对人体有益,可以镇痛、催眠、镇咳

    E

    清晨时的空气对人体有益,尤其是森林瀑布等地


    正确答案: B,A
    解析: 暂无解析

  • 第9题:

    单选题
    下列射线不属于高LET射线的是(  )。
    A

    X射线

    B

    重离子

    C

    轻离子

    D

    质子

    E

    中子射线


    正确答案: A
    解析:
    LET是线性能量传递的英文首字母缩写,又称为传能线密度,是单位长度径迹上传递的能量,高LET射线LET值一般大于100keV·μM-1,有中子、重离子、轻离子、质子等,X射线的LET值一般小于10keV·μM-1属于低LET射线。

  • 第10题:

    单选题
    大气中的离子主要分为()。
    A

    小离子和轻离子

    B

    大离子和重离子

    C

    轻离子和重离子

    D

    Langerin离子和大离子


    正确答案: D
    解析: 暂无解析

  • 第11题:

    单选题
    离子注入与热扩散相比,哪个横向效应小()
    A

     离子注入

    B

     热扩散


    正确答案: A
    解析: 暂无解析

  • 第12题:

    单选题
    离子束加工技术利用注入效应加工的是()
    A

    离子束刻蚀

    B

    溅射镀膜

    C

    离子镀

    D

    离子注入


    正确答案: D
    解析: 暂无解析

  • 第13题:

    离子注入层的深度主要取决于离子注入的()。

    • A、能量
    • B、剂量

    正确答案:A

  • 第14题:

    分析器是一种()分选器。

    • A、电子
    • B、中子
    • C、离子
    • D、质子

    正确答案:C

  • 第15题:

    离子注入装置的主要部件有()、分析器、加速聚焦系统等。

    • A、中子源
    • B、离子源
    • C、电子源
    • D、质子源

    正确答案:B

  • 第16题:

    1989年12月,我国自行研制的()建成出束,标志着我国回旋加速器技术进入国际先进水平。它先后成功合成和研究了10余种新核素,并由此产生了重离子束治癌等一批先进技术。

    • A、兰州重离子加速器
    • B、北京正负电子对撞机
    • C、合肥同步辐射光源
    • D、上海同步辐射光源

    正确答案:A

  • 第17题:

    不属于高LET射线的重粒子是()

    • A、质子
    • B、快中子
    • C、π介子
    • D、碳离子
    • E、氖离子

    正确答案:A

  • 第18题:

    质谱分析器中,()的离子分离是用非磁方法达到的。

    • A、磁式质量分析器
    • B、飞行时间分析器
    • C、四极滤质器
    • D、离子阱检测器

    正确答案:D

  • 第19题:

    下列不属于高LET射线的是()

    • A、X射线
    • B、重离子
    • C、轻离子
    • D、质子
    • E、中子射线

    正确答案:A

  • 第20题:

    单选题
    下列不属于高LET射线的是()
    A

    X射线

    B

    重离子

    C

    轻离子

    D

    质子

    E

    中子射线


    正确答案: D
    解析: LET是线性能量传递的英文首字母缩写,又称为传能线密度,是单位长度径迹上传递的能量,高LET射线LET值一般大于100keV·μm-1,有中子、重离子、轻离子、质子等,X射线的LET值一般小于10keV·μm-1属于低LET射线。

  • 第21题:

    问答题
    离子注入后为什么要进行退火?

    正确答案: 推进,激活杂质,修复损伤。
    解析: 暂无解析

  • 第22题:

    问答题
    简述离子注入工艺相对于热扩散工艺的优缺点。

    正确答案: 优点:①精确地控制掺杂浓度和掺杂深度;
    ②可以获得任意的杂质浓度分布;
    ③杂质浓度均匀性、重复性好;
    ④掺杂温度低;
    ⑤沾污少;
    ⑥无固溶度极限。
    缺点:①高能杂质离子轰击硅原子将产生晶格损伤;
    ②注入设备复杂昂贵。
    解析: 暂无解析

  • 第23题:

    判断题
    在晶片制造中,有两种方法可以向硅片中引入杂质元素,即热扩散和离子注入。
    A

    B


    正确答案:
    解析: 暂无解析